| 工业痕量气体分析仪（H₂O, NH₃, HCI 和 HF）
关键特性 • 拥有 HF 、HCI 和 NH₃ 中的单一气体或多气体配置 • 还能报告准确和精确的 H₂O 测量结果 • 标配 0 - 5 V 及模拟 4 - 20 mA 输出，可选 Modbus TCP • 优化的数据处理，使得能以最优的性能测量亚 ppb 级浓度 • 主密码保护可确保分析仪和数据安全 • 定制的标定和性能认证文件包 • 通过触摸屏进行气体浓度和分析仪状态的数字化显示 • 优化的零气性能，确保可靠地确认过程事件
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关键词： 工业痕量气体分析仪（H₂O, NH₃, HCI 和 HF）
LGR-ICOS™ 工业用痕量气体分析仪能以最高的灵敏度、 准确度、精度和响应速度，满足客户最苛刻的要求：
• 对半导体晶圆厂的工艺流程和为了人身健康与安全而 进行气载分子污染物（AMC）监测
• 前开式晶圆传送盒（FOUP）和气相沉积室监测
简介
LGR-ICOS AMC 监测分析仪能以极高的精度和灵敏度， 对环境空气或惰性工业气流中的氟化氢、氯化氢、氨和 水蒸气进行高度灵敏地测量。该系列分析仪适用于进行 半导体应用中的气载污染物监测、FOUP 监测和各种惰 性气体背景下的测量，能以最佳的整体性能报告宽浓度 范围内的测量结果。
该 LGR-ICOS 痕量气体分析仪采用我们的离轴 ICOS 技术，也是第四代光腔增强吸收技术。该离轴 ICOS 技术相比传统的光腔衰荡光谱（ CRDS ）技术具 有许多优势， 包括性能更加稳健和可靠， 测量时间更短， 光腔和镜片可现场维修等。
所有 ABB 仪器都配有内部计算机（Linux OS） ，能将 每次分析的结果和被测气体的完整光谱都保存到内部硬 盘上以实现长期无人值守的运行。数据可以通过模拟、 数字（ RS232 ）和 Modbus 输出连续地导出。而且， 仪器可以通过互联网进行远程控制。通过远程访问，用 户可在无需到达现场的情况下，控制仪器，获取数据， 以及诊断故障。
这些 LGR-ICOS 分析仪操作简单，启动迅速（只需几 分钟） ，无需现场标定，且预防维护需求极少。和所有 ABB 分析仪一样，LGR-ICOS 工业痕量气体分析仪由我 们专业的服务和技术支持人员来支持。
规格
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项目（气体） |
H2O |
NH3 |
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精度（ 1σ ) |
<50 ppm (1 s) <20 ppm (10 s) <10 ppm (100 s) |
<1 ppb (1 s) |
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检测限（ LOD） |
50 ppm @ 100 s |
0.3 ppb @ 100 s |
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准确度 * |
>7,000 ppm |
±0.3 ppb |
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= 1 % FSD |
或读数的 5% ，取较大者 |
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分析仪之间的差异 vs 平均值 （ 10sec.） |
≤1000 ppm |
±0.4 ppb |
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= ±10 % |
或读数的 5% ，取较大者 |
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线性量程 |
最高 30,000 ppm |
最高 10,000 ppb |
样气流速（lpm） 1.4 - 2.4
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HCI |
HF |
H2O |
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<0.3 ppb (1 s) |
<0.1 ppb (1 s) |
<25 ppm (1 s) |
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<0.1 ppb (10 s) |
<0.05 ppb (10 s) |
<20 ppm (10 s) |
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<0.035 ppb (100 s) |
<0.025 ppb (100 s) |
<5 ppm (100 s) |
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0.1 ppb @ 100 s |
0.075 ppb @ 100 s |
25 ppm @ 100 s |
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±0.15 ppb |
±0.1 ppb |
>7,000 ppm |
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= 1% FSD |
||
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±0.2 ppb |
±0.2 ppb |
≤1000 ppm |
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= ±10 % |
||
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HCI ：最高 2,000 ppb |
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最高 30,000 ppm |
1.1 - 1.9
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响应时间（ T90 ，T10） |
25 s (HF/HCl) 、10 s (NH₃) |
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数据速率（用户可选择） |
1 、10 、20 、100 秒 |
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环境温度 |
0-45 °C（ 32 - 122 °F） |
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环境湿度 |
<99%（无冷凝） |
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样气入口压力 |
分析仪入口处： 0 - 0.35 bar（ 0 - 5 psig） |
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电源 |
170 W （稳态） |
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输出信号 |
RS232C 、模拟、以太网、 USB 、Modbus TCP/IP |
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测量原理 |
离轴 ICOS（ CEAS） |
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标定周期 |
不建议进行标定。典型验证周期 = 1 年 |
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标志和认证 |
CE 、CSA 、IECEX CB Scheme |
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原产地 |
加拿大 |
* 适用于典型的半导体晶圆厂条件：在 19 ° C 至 23 ° C 的设定温度范围内，在最少 1h 内的温度变化为 ±1 ° C。
由于露点发生器的输出，水蒸汽准确度测试范围被限制在 7,000 ppm（含）以上。
